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              重慶實驗儀器設備廠家

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              企業名稱:重慶開衡科技有限公司

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              網址:www.yitaokm.com 

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              高溫CVD系統

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              高溫CVD系統

              • 所屬分類:cvd系統

              • 點擊次數:
              • 發布日期:2020/01/19
              • 規格:
              • 類型:
              • 在線詢價
              • 詳細介紹

              型號:BTF-1700C-CVD

              設備特點:

               

              此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

               

               

               

               

               

               

               

              加熱區參數

              爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

              加熱元件:硅鉬棒

              加熱區長度:300mm
              恒溫區長度:150mm
              工作溫度:1550℃
              高溫度:1650℃
              控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
              控溫精度:±1℃

              推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
              工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

              額定功率:5.2 KW

              外型尺寸:610×440×720 mm

              標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

              密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)

              端口可按實際使用擴展。

               

               

               

               

               

               

               

              氣路系統參數:

               

              質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

              準確度:±1.5%

              線性:±0.51.5%

              重復精度:±0.2%

              響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

              工作壓差范圍:0.10.5 MPa

              大壓力:3MPa

              接口:Φ6,1/4''

              顯示:4位數字顯示

              工作環境溫度:5~45高純氣體             

              內外雙拋不銹鋼管:Φ6

              壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

              截止閥:Φ6

              連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

              可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計。

               

               

               

               

               

               

               

              低真空系統參數:

               

              國產油泵型號:BSV-10

              抽速:10m3/h

              極限真空度:5*10-1pa

              電源:220v 50hz

              電機功率:0.4kw  

              進排氣連接口:KF25

              用油量:1.1L

              電機轉速:1440rpm

              工作環境溫度:5-40℃

              噪音:≤56db

              電阻真空計參數:

              1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

              2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

              3.測量路數: 1路

              4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

              5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

              6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

              7.功耗: 20W

              采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

               

               

               

               

               

               

               

               

               

               

               

               

               

              高真空系統參數:

               

              空氣相對濕度:≤85%

              工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

              功率:1KW

              系統整體極限真空度:10-5Pa

              實驗真空度:10-3Pa

              外形尺寸:850×600×650mm

              機械泵:

              抽氣速率:10m3/h

              容油量:1.1L

              電機功率:400W

              極限壓強:6×10-2Pa

              分子泵:

              抽氣速率:100L/S

              極限壓強:6×10-6Pa

              啟動時間:<2min

              額定轉速:4300轉/分

              冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

              分子泵控制器:

              電壓:220V±22V

              啟動電流:≤7A

              輸入頻率:47HZ—63HZ

              大輸出功率:≤150W

              大加速電壓:≤40V

              加速時間:≤3min

              頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                           低速430HZ±5HZ

              復合真空計:

              測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

              工作模式:手動/自動

              電阻單元參數

              規管型號:ZJ-52T電阻規

              測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

              有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

              控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

              電離單元參數

              規管型號:ZJ-27電離規

              可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

              有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

              控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

              規管除氣方式:焦耳去氣

              其他參數

              控制路數:4路

              控制方式:點動或區域控制/帶掉電記憶

              控制精度:±1%

              采樣時間:1S

              電源:220V±10% 50HZ

              功耗:50W

              使用環境溫度:0℃~45℃

              濕度:≤85%

              連接管路:

              采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s

              采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

               

               

               備注:

               

              可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


              本文網址:http://www.yitaokm.com/product/1158.html

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